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【章043】调试光刻机,有手就行!(2 / 2)

“分别是接触式曝光、接近式曝光、投影式曝光、高精度双面曝光以及高进度单面曝光!”

“其中,接触式曝光又分为软接触、硬接触和真空接触这三种。”

“投影式曝光又可以分为扫描投影曝光,以及步进重复投影曝光。”

“这几种曝光方式,分别适用不同的情况,这里我们采用的是高精度双面曝光。”

“将参数设置好后,我们按下标有‘i-rarar’的按键,保存设置。”

“然后,我们按下‘-arro’键,切换到‘av-pg’界面,点击‘y-arro’页面,选择程序号码。”

“以上准备工作就绪之后,我们就可以开始装载掩膜版了。”

“首先,我们拿出掩膜架,将其翻转一百十度后,放在托盘上面。”

“这里我们需要注意一点,如果托盘上面已经放有掩膜版,我们需要按下‘r’键,切换到真空关闭模式,缩回机械夹具,取下原来的那块掩膜版。”

“如果没有,那我们就可以直接把掩膜版放在掩膜架上,将定位销拨到顶部,然后按下‘r’键,并打开真空模式开关。”

“随后我们将掩膜架再次反转一百十度,送入设备,确定掩膜架固定完成之后,我们按下‘g-ak’按钮,锁上掩膜架,让其彻底送入设备里面。”

讲到这一步的时候,林凡的额头上面,已经出了很多的汗。

站在一旁的王院士看到了,连忙叫人给林凡拿来了一瓶冷饮和一条干毛巾。

【兄弟们都学废了吗?】

【看不起谁呢?!这不是有手就行吗?!】

经过一段时间的熟悉之后,直播间的观众,彼此也都放开了不少!

【嘤嘤嘤,刚来这个直播间的时候,我以为大佬们会教我一点科技圈的皮毛,没想到,三年了,我只学会了大佬们的那句‘有手就行!’】

【三年!你知道我这三年是怎么过的吗?!】

弹幕一片欢声笑语的同时,林凡拧开了那瓶冷饮,咕嘟咕嘟的喝了半瓶。

看到直播弹幕一片热火朝天的景象,林凡略感欣慰的笑了一下。

至少,还是有观众愿意了解这些真正硬核的科学知识的。

【主播,继续!继续继续!芯片还没出来呢!刚才那个叫小北风的,说要把你生产的芯片全都买下来!】

【对!主播赶紧给直播间的兄弟们露一手!让大家好好看看这玩意到底是怎么一回事!回头我直接跑到风车国那边去顺一台回来!】

【多笋啊!山上的笋都被你偷完了!】

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