“等离子物理沉积法?”
吴志明看着黑板上那八个字,一脸茫然。他根本不知道这是什么东西,只觉得这个叫苏城的年轻人,简直狂妄到了极点。
“苏城!你这是什么态度!你知不知道你在跟谁说话!”吴志明气急败坏地吼道。
他身后的德州仪器代表,也皱起了眉头。他虽然也看不懂这八个字的具体含义,但从“等离子”、“物理沉积”这几个词里,他隐约感觉到了一丝不安。这听起来,像是一种完全绕开传统化学光刻胶的技术路线。
“不可能……这绝对不可能……”他用英语喃喃自语,“这只是一个故弄玄虚的bluff(唬人)!”
苏城根本懒得再跟他们废话,直接对门口的警卫连长使了个眼色。
警卫连长心领神会,带着两名荷枪实弹的士兵走了进来,面无表情地对着吴志明等人做了一个“请”的手势。
“你们……你们要干什么!我是商务部的副司长!你们敢……”
吴志明的话还没说完,警卫连长直接拉动了手中步枪的枪栓,发出了清脆的“咔嚓”一声。
冰冷的金属撞击声,比任何语言都更有说服力。
吴志明的脸色瞬间变得惨白,双腿一软,差点没站稳。他再也不敢多说一个字,在士兵冰冷的目光注视下,和那几个同样吓得魂不附体的外国人,连滚带爬地逃离了办公室。
办公室里,重新恢复了安静。
秦老看着黑板上的那八个字,眼神里充满了激动和疑惑。他虽然不是搞这个专业的,但也知道,这绝对是一种颠覆性的技术构想。
“苏城,这个……等离子沉积法,真的能绕开光刻胶的限制?”
“理论上可以。”苏城点了点头,表情重新恢复了平静,“传统的光刻技术,本质上是一个‘化学腐蚀’的过程。光刻胶就是一层感光材料,被紫外线照射到的部分会发生化学变化,然后用化学溶剂把它洗掉,露出下面的晶圆,再进行刻蚀。”
他走到黑板前,用粉笔画了一个简单的示意图:“而我的想法是,完全抛弃‘化学’的路径,改走‘物理’的路径。”
“我们可以在真空环境中,将一种特殊的金属材料作为‘靶材’,用高能等离子束去轰击它。金属原子就会被轰击出来,像下雨一样,均匀地沉积在晶圆表面,形成一层极薄的、可以阻挡刻蚀的金属掩膜。这个过程,不需要任何光刻胶,精度只取决于等离子束的控制水平。”
秦老听得似懂非懂,但他抓住了最关键的一点:“你的意思是,我们只要能控制好等离子束,就能直接在晶圆上‘画’出我们想要的电路图?”
“可以这么理解。”苏城说道,“而且,这种方法的理论精度极限,远比传统的光刻胶要高。只要我们能实现,就能一步到位,直接跨越好几个技术代差。”
秦老激动得满脸通红,他仿佛已经看到了中国半导体弯道超车,将所有西方巨头甩在身后的那一天。
“那……那我们还等什么!赶紧开始干啊!”
“还不行。”苏城摇了摇头,泼了一盆冷水,“这个方法,对作为‘靶材’的金属材料要求极高。它必须具备几个特性:第一,纯度要极高,达到99.9999%以上;第二,原子结构要非常稳定,能承受高能等离子束的轰击;第三,沉积后的附着力要好,不能轻易脱落。”
“那是什么材料?”
“一种高纯度的稀土复合靶材。”苏城说出了一个名字。
秦老的脸色瞬间又垮了下来:“稀土?我们国家虽然是稀土大国,但提纯技术一直不过关啊!这么高纯度的靶材,恐怕全世界也只有美国和日本的几家公司能生产。巴统的禁令里,肯定也包括了这一项。”
兜兜转转,似乎又回到了原点。他们绕开了光刻胶的封锁,却又一头撞上了靶材的封锁。
苏城却笑了笑,他走到办公室的地图前,用手指在地图的东北角画了一个圈。
“秦老,您放心。全世界最好的矿脉,不在美国,也不在日本,就在我们中国的土地上。”他指着那个圈,“大兴安岭深处,根据我脑子里的资料库显示,那里有一条尚未被发现的超大型富矿脉,其矿石的品质,是全世界独一无二的。”
秦老看着苏城那笃定的眼神,知道他绝不是在信口开河。
“好!我马上去协调军区!派最好的地质勘探队跟你一起去!”
“不用。”苏城再次摇头,“动静太大了,容易打草惊蛇。而且,一般的勘探队,找不到我说的地方。我自己去就行。”
“你自己去?那怎么行!大兴安岭那么大,深山老林里,冬天都快到了,太危险了!”秦老坚决反对。
“我必须亲自去。”苏城的态度同样坚决,“除了我,没人知道那个精确的坐标。您只需要给我派一架运输机,再配一队最精锐的特种兵保护我就行了。哦,对了,再带上林汐,我需要一个助手帮我处理数据。”