“对了。”
沈秋林院士忽然想起了什么似的,随口问道:“你刚刚在推算的东西是什么?”
顾明想也没想下意识回答道:“我看到激光阀装置摩擦系数比较高,就试了一下将金属源换成混合气体的数据。”
“结果怎么样?”
“试了三组,但结果很奇怪。”顾明有些紧张地回答着:“换成混合气体原以后,摩擦系数变得非常不稳定,三组数据十几次推算,每次的结算数据都不一样。”
“嗯,知道了。”沈秋林院士说道。
光刻机的准分子发射机改进工作本来就异常艰难。
激光阀又是准分子发射器的核心装置。
不知道多少任科学家,想尽办法在激光阀上试验各种天马行空的想法……只求能有一定点地突破。
所以项目组的人在听到顾明是在针对激光阀做推算时,脸上都露出果然如此的神情。
相似的事情这个办公区内的每个人都做过无数次。
只是都全部失败了。
顾明的行为在他们看来简直太熟悉了。
然而。
就在所有人认为这不过是天才的一次好高骛远时,忽然,沈秋林院士发出了一声轻咦。
“不对!等下!”
这次他的声音明显提高了分贝。
比刚刚叫顾明过来时还高了许多。
“你立刻把分子聚合器关闭,再做一次推算!快点!详细数据一步都不要省略,我要全部的过程!”
不知道是不是错觉,众人竟然从沈秋林院士的声音中听到了一丝激动。
沈老发话顾明哪儿还敢墨迹。
他虽然不明白沈老的指示是什么意思,但照着做就行了。
顾明跑回电脑,按照指示在模型中关闭了分子聚合器,再次把激光阀的金属源替换为之前灵光一现想出来的混合气体源的三组数据。
啪啪啪啪——
一通敲打之后,庞大的文件被发送了过去。
沉默。
良久的沉默。
就在顾明以为这不过是像往日一样,再平常不过的一次资料对接时,隔壁终于传出了动静。
只是这一次,动静比以往都要大上许多。
沈秋林院士的声音充满了难以形容的情绪,仔细听来,甚至有一丝颤抖。
“小顾!你擅长机械!你立刻回答我,把金属源替换为低敏轴承,最中间填充P态混合气体,这个设计有没有实现的可能性!”
顾明瞬间陷入沉思。
金属源替换为低敏轴承,填充P态混合气体……
这一刻,无数讯息在他脑海中高速运转,在出租屋,战研所,果壳科技内毕生接触的所有知识疯狂交织。
一个复杂而又狂妄的简易图形在脑海缓缓成型。
啪——
顾明的眼中闪过一丝难以置信,他明白沈老为什么会激动了。
因为此刻,他从心脏开始都是颤抖的。
按照沈老的描述,如果把这个东西做出来。
那么光刻机准分子发射器的激光阀,摩擦系数将大幅度衰减,比现在的这个低十几倍!
那也意味着……
光刻机雕刻芯片的精准度和稳定性将有空前的提升!
老天爷!!