中科院微电子研究所的研发室灯火通明,空气中弥漫着精密仪器运转的低鸣。
秦院士带着核心研发团队围在巨型屏幕前,眉头紧锁地盯着上面不断跳动的参数,眼底布满血丝。
连续七十二小时的高强度攻关,让所有人都已疲惫不堪,但没人敢有丝毫松懈。
“光刻胶涂覆均匀度还是差0.03微米,这样下去晶圆蚀刻肯定会出现缺陷!”
一名年轻研究员急得声音发颤,手指在控制台上飞快操作,试图调整参数。
但屏幕上的曲线依旧顽固地偏离标准值。
光刻机的核心难题,终究还是卡在了这些毫厘之间的精度上。
楚玄捐赠的技术方案虽然详尽,但从理论到实践,每一步都充满了挑战。
尤其是光刻机的光源系统和物镜组,对材料纯度和加工精度的要求达到了纳米级,夏国此前从未涉足过如此尖端的领域。
秦院士揉了揉发胀的太阳穴,拿起楚玄捐赠的光刻机制造图纸,指尖划过上面密密麻麻的标注。
“楚先生提供的碳化硅反射镜方案是关键,但国内的材料纯度始终达不到99.9999%,差这万分之一,就足以让光线折射出现偏差。”
“难道真要折在这小小的偏差上吗?”
秦院士神情有些落寞。
就在这时,实验室的大门被推开,楚玄走了进来。
神级材料学的奖励让他对各类材料的特性了如指掌,解决这个问题,他早有预案。
“秦院士,材料的问题我来解决。”
楚玄走到控制台前,目光扫过屏幕上的参数,神级运算能力瞬间启动。
“碳化硅材料里的杂质主要是硼和氮,需要用高温等离子体净化技术,将净化温度提升到3200摄氏度。”
“同时加入钇元素作为催化剂,这样能将纯度提升到九个九。”
“3200摄氏度?”
秦院士瞪大了眼睛,无奈道:“现有设备的极限只有2800度,而且钇元素的添加比例很难控制,稍有不慎就会破坏材料结构。”
“设备可以临时改造,我已经联系了特种材料厂,他们会在三小时内送来耐高温坩埚和精准加料装置。”
楚玄说着,手指在键盘上飞快敲击,调出一份详细的改造方案。
“按照这个图纸修改加热模块,稳定输出3200度高温完全没问题。”
众人看着屏幕上逻辑严密、细节详尽的改造方案,都露出了难以置信的神色。
这份方案不仅解决了高温问题,还优化了能量利用效率。
甚至考虑到了设备的使用寿命,仿佛是为现有设备量身定做一般。
“楚先生,您这是……”
秦院士激动得话都说不完整。
“只是刚好懂点材料学和工程改造。”
楚玄笑了笑,语气云淡风轻。
他没说的是,神级材料学让他对各种元素的化学反应了如指掌。