再加上神级运算能力的精准计算,这些难题在他眼中不过是基础应用题。
三个小时后,特种材料厂的设备准时送达。
在楚玄的现场指导下,研发团队和工厂技术员通力合作,连夜对光刻机的加热模块进行改造。
楚玄亲自调试参数,每一个数据都精确到小数点后六位,让旁边的工程师们叹为观止。
“升温到3200度,稳定十分钟后加入钇元素,比例0.0012%。”
楚玄的声音冷静而坚定。
“注意观察材料的晶格结构,一旦出现异常,立刻停止加料。”
控制台前的研究员屏住呼吸,按照楚玄的指令操作。
屏幕上,碳化硅材料的纯度曲线开始缓慢上升,从99.999%一路飙升。
最终稳稳停在了99.9999999%的位置,杂质含量几乎可以忽略不计。
“成了!材料纯度达标了!”
实验室里爆发出一阵压抑已久的欢呼,有人激动得热泪盈眶。
解决了材料问题,下一个难关便是光刻的对准精度。
光刻机需要将芯片设计图精准投射到晶圆上,误差不能超过1纳米,这对光源系统和物镜组的配合要求极高。
“用深紫外光作为光源,物镜组采用五片式碳化硅透镜,焦距调整到1.2毫米,曝光时间控制在0.003秒。”
楚玄走到光刻机旁,亲自调整物镜组的位置。
“另外,在晶圆下方加装电磁吸附装置,抵消温度变化带来的微小形变。”
一切准备就绪,秦院士按下了启动按钮。
光刻机发出低沉的嗡鸣,深紫外光透过物镜组,精准地投射到晶圆上。
屏幕上,芯片的电路图案一点点显现,线条清晰流畅,没有丝毫扭曲和模糊。
“对准精度0.8纳米!完全符合要求!”
负责监测的研究员高声喊道,声音里充满了狂喜。
然而,就在蚀刻工序即将完成时,实验室的警报突然响了起来。
屏幕上显示,光刻机的真空系统出现泄漏,腔内气压开始上升。
“不好!真空泄漏会导致光刻胶氧化,之前的努力就白费了!”
秦院士脸色大变,想要紧急停机,但楚玄已经抢先一步冲到控制台前。
“关闭主真空阀,启动备用真空泵,同时向腔内注入氮气,维持惰性环境。”
楚玄的手指在键盘上翻飞,速度快得出现残影。
“另外,切断光刻胶区域的氧气供应,用低温冷却系统将晶圆温度降到-10摄氏度,减缓氧化速度。”
一系列操作行云流水,仅仅十秒钟,屏幕上的气压曲线就稳定了下来,真空泄漏被成功控制。
众人惊魂未定地看着楚玄,眼神中充满了敬畏。
刚才那一瞬间,但凡稍有迟疑,整个晶圆就会报废,几天的心血将付诸东流。