8月19日,
ST星火
跌停
35.23元
-5.00%
连续三天。
市值蒸发66亿。
沈南鹏发来消息:“苏总,要不要发个公告安抚市场?”
苏辰回复:“不用。该干嘛干嘛。”
沈南鹏看着手机屏幕,沉默了很久。
然后他回复:“明白了。”
8月20日,
ST星火
跌停
33.47元
-5.00%
连续四天。
财经媒体开始用“崩盘”这个词。
有股民在星火科技门口拉横幅:“苏辰还我血汗钱”。
保安拦着,没人闹事,但那条横幅被拍下来,发到网上,又引发一轮热议。
林婉看着照片里那些熟悉的面孔——有些人是真的在哭。
她把照片删掉,关上手机。
然后拿起那份缺陷密度分析报告,继续研究铜离子残留的解决方案。
8月25日,下午14:00
星辰半导体·良率攻坚会
会议室的门一关,外面的世界就被隔绝了。
股价、舆论、横幅、骂声——全都消失在那扇门后。
长条会议桌上摊满了实验记录,每一页都密密麻麻写满了数据和标注。白板上,流程图从STI浅槽隔离一直画到最后的电性测试,红蓝黑三种颜色的笔交错重叠。
李建勋坐在主位旁边,面前是一杯已经凉透的咖啡。陈天桥靠在窗边,手里拿着一份打印出来的SEM照片,老花镜架在鼻梁上。
陈友根坐在角落里,那双洗不干净机油的手,正轻轻抚摸着一份设备日志。
“开始吧。”苏辰推门进来,在林婉身边的空位坐下。
李建勋清了清嗓子,站起来走向白板。
“十天了。”他的声音有些沙哑,“缺陷密度从行业标准的50倍,降到了38倍。进步了,但远远不够。”
他用激光笔点在一张电镜照片上:
“这是第47批测试片的STI截面。大家看这里——”
照片被放大,边缘处隐约可见的细微裂纹被红圈标出。
“高温氧化之后,边缘应力释放不均匀,导致氮化硅沉积时出现微裂纹。这是缺陷密度的核心来源。”
有人低声问:“工艺窗口收窄过吗?”
“收过。850度到900度,试了五个梯度。没用。”李建勋摇头,“问题的根源不在温度,在——”
他顿了顿,看向陈天桥。
陈天桥缓缓站起身。六十二岁的老人,脊背挺得很直,走到白板前,拿起一支红色马克笔。
“在设备。”他说。
笔尖落在白板上那台光刻机的图标上。
“这台尼康的曝光均匀性比新机差15%。我们用的是标准逻辑电路的85度刻蚀角——这是为最先进的设备设计的参数。”
他转过身,看向苏辰:
“苏总,你上次说83到87度的刻蚀角度。我们试过87度,缺陷增加。试过83度,刻蚀不完全。”
他顿了顿:
“我们需要为这台机器,单独调一套工艺参数。”
会议室安静了。
单独调参数——这四个字背后的分量,在场每个人都清楚。
那意味着放弃从台积电、三星、英特尔传承过来的标准流程。
那意味着从零开始,为这台全世界唯一的老机器,量身定制一套全新的工艺流程。
光刻、刻蚀、沉积、研磨、清洗、退火——每一环都要重新验证。
每一个环节,都可能在某个意想不到的地方崩盘。
李建勋缓缓开口:“三个月,至少。”
他的声音很轻,但每个人都听见了。
陈天桥点头:“三个月,换一台新机器两年的交期。值不值?”
所有人都看向苏辰。